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稀土生產中廢氣的主要有害成分是氟、氯，其次還含有二氧化硫等，對這些有害成分的分離凈化常用吸收法，其原理是采用水或含有氫氧化鈉的水溶液作為吸收劑，在凈化設備中吸收劑與氣體逆流接觸，吸收其中的氟、氯和二氧化硫等，從而使廢氣得到凈化。在滿足排放標準的前提下，盡可能利用少的工序去除更多的有害成分，這樣既節約占地和設備投入，又降低了廢氣凈化成本。
處理規模，要根據各生產工序所排出的有害氣體的濃度（或量）以及凈化設備的效率來具體確定。既可以采用單級設備凈化，又可以采用多級設備聯合凈化裝置。但無論選用何種凈化形式，都必須根據稀土生產廢氣的特點，選擇凈化設備，否則，達不到預期效果。
一、工藝設計
稀土生產的廢氣中，氟多以HF和SiF4形式存在。在硫酸焙燒法處理氟碳鈰鑭礦時，按照完全分解后生成的HF理論量計算，分解lt精礦，要產出50～150kg氟化氫，在煙氣中的濃度可達14g/m3，氟含量超標47倍。根據HF和SiF4的特點，常用的處理方法為：
1、旋風除塵器
是利用離心力的作用進行分離凈化的除塵設備，適合于粒度大于20μm的煙塵。含塵氣流從除塵器圓柱體的上部側面沿切線方向進入除塵器，在圓柱與中央排氣管之間的空間作旋轉運動沿螺線下降，使塵粒受離心力作用而被甩到器壁后失去速度，與煙氣分離并滑入灰斗。旋風除塵器的除塵效率一般為70%～80%，特點是結構簡單，體積小，效果穩定。
2、采用堿性水溶液中和含氟廢氣
氫氧化鈉溶液吸收反應方程式：
HF+NaOH=NaF+H2O
經堿液噴淋吸收中和后，凈化率可達97%～98%，廢氣中氟含量和二氧化硫均可達到排放標準。
二，設備結構及特性
1、旋風除塵器
（1)旋風除塵器內部沒有運動部件。維護方便。
(2)制作、管理十分方便。
(3)處理相同風量的情況下體積小，結構簡單，價格便宜。
(4)作為預除塵器使用時，可以立式安裝，使用方便。
(5)處理大風量時便于多臺并聯使用，效率阻力不受影響。
(6)可耐400℃高溫，如采用特殊的耐高溫材料，還可以耐受更高的溫度。
(7)除塵器內設耐磨內襯后，可用以凈化含高磨蝕性粉塵的煙氣。
(8)可以干法清灰，有利于回收有價值的粉塵。
2、玻璃鋼凈化塔
采用氫氧化鈉溶液作為吸收中和液。酸霧廢氣由風機壓入凈化塔的中段內筒形成壓力室，再由壓加重室均配給各根鼓泡管，廢氣通過鼓泡管進入貯液箱的吸收中和液中產生鼓泡，氣泡通過濾料環層，使氣液再次得到充分接觸后，經脫液風脫液，然后排入大氣。根據以上設計原理，改進了一般玻璃鋼凈化塔的結構，采取了以下措施：
（1）采用了比表面積大，穿孔率高、洞孔均勻、排列有規則、溝留現象小的新濾料一圓紋花環，替代了國內常用的鮑爾環濾料。
（2）設備選材須科學合理。
（3）根據凈化塔各部件的工作環境，分別選用了耐堿性能好和結構強度高的樹脂，外表采用防水、防老化性能好的膠衣樹脂。為增強塔體強度，塔體外殼采用了若干縱向加強盤，并根據各種型號的體型大小分別采用了圓筒形雙筒體分段與分片相結合的綜合結構。因凈化塔長期工作在酸堿性腐蝕氣體的環境中，除隨塔體自身壓力及溶液壓力外，還要隨工作時的風壓, 要求全部玻璃鋼制件既要有良好的耐腐蝕性能，又要保持較高的抗拉、抗壓強度，因此，我公司在充分考慮和排除了強腐蝕下的強度折減系數及手糊成型工藝的離散性能因素后，針對塔型結構和使用環境特點，按*惡劣的工作環境下，整個玻璃鋼部件及保持富裕的儲備強度。
海口新型防靜電FBJS型凈化塔
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